光学3D表面轮廓仪是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。以非接触的扫描方式，实现针对样品表面的超高重复精度的3D测量，获取表征样品表面质量的2D、3D数据。可广泛应用于对器件表面质量要求极高的半导体、光学加工、3C玻璃屏、薄膜制备、微纳器件、纳米材料、薄膜制备、超精密加工等工业企业领域，以及高校、科研院所和计量机构等研究、检测型单位。